ZHN-SEM
Nanoindenter für Rasterelektronenmikroskope
Der Nanoindenter ZHN/SEM zur Installation in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) ermöglicht die Durchführung mikromechanischer Experimente bei gleichzeitiger Beobachtung der Probe mit höchster Auflösung. Er bietet den derzeit größten verfügbaren Messbereich mit einer maximalen Wegmessung von 200 µm und einer Maximalkraft von 200 mN bei gleichzeitig sehr geringem Rauschen der Kraft- und Wegsensoren in einer vibrationsarmen Umgebung. Seine Gerätesteife ist so hoch, dass konventionelle Härtemessungen ohne Probleme durchführbar sind. Das Standardsystem wurde für die Installation auf dem Tischsystem verschiedener REMs entwickelt, aber es kann auch an der Kammerwand montiert werden. Die bestehenden Kipp- und Verschiebemöglichkeiten des REM-Tisches lassen sich damit weiter nutzen.
Das System besteht aus:
- dem Messkopf mit Sensoren und Aktuator
- einem Piezo-Tischsystem zur Probenverschiebung in XY-Richtung und optionaler Rotation um die Eindringkörperachse
- einem steifen mechanischen Z-Tisch zur Verschiebung des Messkopfes Richtung Probe
- PC und Controller
- einfach nutzbarer und sehr flexibler Software
- ein oder zwei Flanschen mit Durchführungen (REM-spezifisch)
Besondere Merkmale des Gerätes, die es von anderen Geräten auszeichnen:
- Der Eindringkörper kann über einen weiten Bereich an Kundenwünsche angepasst werden
- Kraft- und Wegsteuerung im geschlossenen oder offenen Regelkreis sind verfügbar
- Ein dynamisches Messverfahren mit Frequenzen bis 100 Hz für Ermüdungs- und kontinuierliche Steifemessungen ist als Option verfügbar
- Ein besonderes Merkmal des Messkopfes ist die Nutzbarkeit in Druck- und Zugrichtung über den gesamten Messbereich
- Video-Synchronisation: Mit dem Aufnahmebild kann durch übermittlung der Daten über TCP-IP in ein zusätzliches Fenster auf dem REM-Rechner realisiert werden